光刻系统模块是光刻机中的核心组件，用于实现高精度的图案转移。公司提供投影物镜、中继镜头、耦合镜头、环形照明系统、激光直写曝光系统、快门、可变光阑、可变狭缝等高性能光刻系统模块，具备优异的光学性能和稳定性，能够满足半导体制造对光刻精度的高要求。