公司专注于半导体装备配套光学元件的研发与制造，具备大口径、高精度透镜及反射镜的批量生产能力，能够充分满足以光刻机为代表的高端半导体装备对核心光学元件的严苛要求。
核心技术指标
| 技术参数 | |
|---|---|
| 材料 | 熔石英、光学玻璃、单晶材料 |
| 表面面形 | 面形RMS优于0.6nm |
| 表面粗糙度 | Sa优于0.1nm |
| 深紫外镀膜 | 单面AR＜0.2%@266nm，透过率T>99.8%@365nm |
| 应用领域 | 半导体制造设备、光刻机、检测设备 |
公司专注于半导体装备配套光学元件的研发与制造，具备大口径、高精度透镜及反射镜的批量生产能力，能够充分满足以光刻机为代表的高端半导体装备对核心光学元件的严苛要求。
| 技术参数 | |
|---|---|
| 材料 | 熔石英、光学玻璃、单晶材料 |
| 表面面形 | 面形RMS优于0.6nm |
| 表面粗糙度 | Sa优于0.1nm |
| 深紫外镀膜 | 单面AR＜0.2%@266nm，透过率T>99.8%@365nm |
| 应用领域 | 半导体制造设备、光刻机、检测设备 |